基板面方位の検討
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基板面方位の意味 用法を知る Astamuse
2003 112999号 半導体基板 半導体装置及びそれらの製造方法並びに結晶成長方法 Astamuse
2012 106903号 単結晶サファイア基板の製造方法 Astamuse
2014 194352号 一軸結晶からなる単結晶基板の面方位測定方法 及びこれに用いる面方位測定装置 Astamuse
2009 143778号 窒化アルミニウム結晶の成長方法と窒化アルミニウム基板および半導体デバイス Astamuse
特開2016 179649 知財ポータル Ip Force
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特開2016 179649 知財ポータル Ip Force
低抵抗ｓｉｃ単結晶の育成方法
基板面方位の意味 用法を知る Astamuse
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